干式真空泵主要在半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)得到應(yīng)用與發(fā)展。國外的干泵市場正處于蒸蒸日上的階段，如日本，半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵，而歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵，大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。
 

　　為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，國外有螺桿式真空泵、多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵、渦旋式真空泵以及渦輪式無油真空泵等。干泵極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h。通過對內(nèi)表面溫度的控制以滿足新的防爆條例的要求。由于能夠維持最小的內(nèi)部溫度，從而能控制泵送氣體的冷凝和由于腐蝕可能造成的損壞效應(yīng)；輕松的輸送腐蝕性介質(zhì)，安全的輸送易燃易爆氣體。
 

　　干式真空泵的特點：
 

　　1)清潔環(huán)保；
 

　　2)真空度高；
 

　　3)防腐設(shè)計；
 

　　4)可抽除可凝性氣體及少量粉塵氣體；
 

　　5)特殊軸封設(shè)計，杜絕被抽介質(zhì)與潤滑系統(tǒng)互相污染；
 

　　6)防過載設(shè)計；
 

　　7)運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)；
 

　　8)高標(biāo)準(zhǔn)配置；
 

　　9)附件配置齊全
 

　　10)優(yōu)質(zhì)健全的零配件供應(yīng)。
 

　　干式真空泵是未來行業(yè)發(fā)展的趨勢，現(xiàn)在應(yīng)用的不廣泛，除了價格高原因外，還有用戶對該款真空泵的了解不全面，短期內(nèi)未體驗到給企業(yè)帶來的經(jīng)濟(jì)效益，但是它所形成的無油真空，卻產(chǎn)生了不少益處。